上圖為原子層沉積微通道板視場測試照片。中科院西安光學(xué)精密機械研究所供圖

　　近日，中科院西安光學(xué)精密機械研究所瞬態(tài)光學(xué)與光子技術(shù)國家重點實驗室副研究員朱香平課題組聯(lián)合松山湖材料實驗室，以多組分無鉛玻璃作為基板材料，采用原子層沉積技術(shù)制備功能層，成功研制出新一代高性能微通道板。

　　微通道板是一種在單通道電子倍增器基礎(chǔ)上發(fā)展起來的具有多通道連續(xù)倍增極結(jié)構(gòu)的電子倍增器件，其因獨特的增益、噪聲、空間分辨、時間分辨特性，成為光子、電子、離子探測和圖像增強/微弱光信號放大中的核心器件。

　　據(jù)介紹，與傳統(tǒng)商業(yè)化含鉛的微通道板相比，該微通道板制作工藝過程無需氫還原，成功降低了傳統(tǒng)微通道板中因鉛還原層而產(chǎn)生氣體吸附以及K40同位素β衰減等引起的噪聲，同時它可以承受更高的烘烤溫度，大大降低微通道板器件的放氣量，延長器件的使用壽命。此外，新一代高性能微通道板技術(shù)能獨立精細(xì)調(diào)控體電阻，可滿足皮秒飛行時間測量等不同場景的應(yīng)用需求。（張行勇）

　　《中國科學(xué)報》 (2021-09-13 第4版 綜合)

     來源：http://news.sciencenet.cn/sbhtmlnews/2021/9/365275.shtm